净化车间设施测试方法及实施顺序

选择测试方法和顺序

测试方法

测试仪器

1

空气悬浮粒子计数（等级划分和检测）

离散粒子计数器（DPC）

2

空气悬浮微粒子计数

凝结核粒子计数器(CNC)

离散粒子计数器(DPC)

小粒子清除装置

3

空气悬浮宏粒子计数

4

空气悬浮宏粒子的采集与计数

显微镜观测采过样的滤纸

多级撞击器

5

空气悬浮宏粒子计数（无采集）

离散粒子计数器(DPC)

飞行时间粒子仪

6

气流

7

单向流设施的风速测量

热风速计

超声波风速计（3维或相当3维）

旋翼风速计

皮托管与压力计

8

非单向流设施的送风风速测量

热风速计

超声波风速计（3维或相当3维）

叶片风速计

皮托管与压力计

9

过滤器下风向总风量测量

风罩式风量计

孔板流速计

文丘里流量计

10

送风管风量测量

风罩式风量计

孔板流速计

文丘里流量计

皮托管与压力计

11

压差测量

电子微压计

斜管压力计

机械式压差计

12

过滤器安装后检漏

13

过滤器系统安装后检漏扫描

对数气溶胶光度计

线性气溶胶光度计

离散粒子计数器(DPC)

气溶胶发生器

气溶胶源物质

稀释系统

凝结核计数器

14

安装在风管或空气处理机组上的过滤器之测试

线性气溶胶光度计

对数气溶胶光度计

离散粒子计数器(DPC)

气溶胶发生器

气溶胶物质

稀释系统

凝结核计数器

15

气流方向和目检

示踪剂

热风速计

3维超声波风速计

气溶胶发生器

烟雾发生器

16

温度

17

一般温度

玻璃温度计

温度计

电阻温度计

热敏电阻

18

综合温度

玻璃温度计

温度计

电阻温度计

热敏电阻

19

湿度

湿度监测器（电容式）

湿度监测器（毛发式）

露点传感器

测湿计

20

静电与电离器

21

静电

静电压计

高阻欧姆计

充电板监测器

22

电离器

静电压计

高阻欧姆计

充电板监测器

23

粒子沉降

验证板

双目显微镜

粒子沉降光度计

表面粒子计数器

粒子发生器

24

自净时间

离散粒子计数器

气溶胶发生器

稀释系统

25

密封性检漏

26

离散粒子计数器法(DPC)

离散粒子计数器(DPC)

气溶胶发生器

稀释系统

27

光度计法

光度计

气溶胶发生器

注：a 、测试人员可在第1列的格中按测试项目顺序为所选的测试方法编号，顺序自由选择。

  b 、测试人员可按所选的测试方法选择测试仪器对净化设备测试。www.zjnf.cn