洁净室(无尘车间)及相关受控环境—按粒子浓度划分表面洁净度等级
2016-11-30
洁净室(无尘车间)及相关受控环境—按粒子浓度划分表面洁净度等级
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SCP等级 |
粒径 |
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0.005 µm |
0.1 µm |
0.05 µm |
5µm |
0.001 µm |
10µm
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50 µm |
100 µm |
500µm |
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Scp1级 |
(200) |
100 |
20 |
(10) |
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Scp2级 |
(2000) |
1000 |
200 |
100 |
(20) |
(10) |
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Scp3级 |
(20000) |
10000 |
2000 |
1000 |
(200) |
(100) |
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Scp4级 |
(200000) |
100000 |
20000 |
10000 |
2000 |
1000 |
(200) |
(100) |
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Scp5级 |
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1000000 |
200000 |
100000 |
20000 |
10000 |
2000 |
1000 |
(200) |
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Scp6级 |
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(10000000) |
2000000 |
1000000 |
200000 |
100000 |
20000 |
10000 |
2000 |
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Scp7级 |
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10000000 |
2000000 |
1000000 |
200000 |
10000 |
20000 |
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Scp8级 |
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100000000 |
2000000 |
1000000 |
200000 |
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表中的值是每1平方米的表面积上等于或大于关注数粒径的离子浓度及SCP等级，括号内的数字,其对应的粒径不应用于分级；选择七大粒径进行分级，对较低SCP级别的分级，要有大量的测量结果以确立有效值
洁净室及相关受控环境——按纳米粒子浓度划分空气洁净度等级，按悬浮粒子浓度划分空气洁净度等级扩展到纳米尺度分级表
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ISO 14644-12 粒径范围（NPC） |
ISO 14644-1 粒径范围（APC） |
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0.001 µm（1 nm） |
0.005µ（5 nm） |
0.01µm（10nm） |
0.05 µm（50 nm） |
0.1 µm |
0.2 µm |
0.3 µm |
0.5 µm |
1 µm |
5 µm |
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1 |
145000 g |
5080 |
1200 |
e |
10e |
e |
e |
e |
e |
f |
|
2 |
1 450 000 g |
50 800 |
12 000 |
423 |
100 |
24 c |
10e |
e |
e |
f |
|
3 |
14 500 000 g |
508000 |
120 000 b |
4230 |
1000 |
237 |
102 b |
35 e |
e |
f |
|
4 |
145 000 000 g |
508000 |
1 200 000 |
423 00 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 e |
f |
|
5 |
d |
50 800 000 |
12 000 000 |
423000 |
100000 |
23700 |
10200 |
35 20 |
8 32 |
f |
|
6 |
d |
d |
d |
4 230 000 |
1000 000 |
237000 |
102000 |
35 200 |
8 320 |
293 |
|
7 |
d |
d |
d |
d |
d |
d |
d |
35 200 0 |
8 320 0 |
2930 |
|
8 |
d |
d |
d |
d |
d |
d |
d |
35 200 00 |
8 320 00 |
29300 |
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9 |
d |
d |
d |
d |
d |
d |
d |
35 200 000 |
8 320 000 |
293000 |
注：a）纳米粒子浓度分级表必须与ISO 14644-1分级表配合使用。
b）ISO-NPC 3级120 000个粒子是包括所有粒径≥ 10 nm 粒子的累计浓度。ISO-APC 3级35个粒子是关注粒径（considerd）≥ 0.5 µm 时，空气中悬浮粒子的最大浓度限值（maximun concentration limit）。
c）分级采样量要大，见ISO 14644-1序贯采样法。
d）粒子浓度过高，限值不适用。
e）由于采样和统计的局部性，该低浓度不适合于分级。
f）由于在采样系统中可能的粒子损失，使得低浓度和> 1 µm的粒径不适合于分级。
g）颁布时该粒径计数超出当前仪器测量范围，本栏供未来使用。
同一个洁净度要求，洁净室处于不同的占有状态，其污染的程度不同：
(1)关注粒径（Considered Particle Size）： 0.1 µm；0.2 µm；0.3 µm；0.5 µm；1 µm；5 µm。 0.1 µm~ 0.2 µm 12英寸芯片厂受控环境关注的粒径。 0.2 µm~ 0.3 µm 为空气过滤器最宜穿透粒径 MPPS（Most penetrating particulate size）。0.5 µm~ 5 µm 与细菌的粒径相近（GMP-2010，洁净区悬浮粒子的关注粒径为：0.5 µm；5 µm）。
(2)国际上取得共识的“技术定义”是，ISO 5级——≥ 0.5 µm 的粒子最大浓度限值为 3520个/m 3。空气中的悬浮粒子为分散系，具有随机性和不确定性；计量时引入统计学概率：95%置信上限（UCL, Upper confidence Limit）。
(3)国内一些国家规范关于洁净度的分级表述不确切，定为区间值： ISO 5级——≥ 0.5 µm的尘粒数为>350粒/m 3 到≤3500粒/m 3 。造成技术概念上的“混乱”。
(4)ISO 洁净室洁净度等级分为9个级别。ISO 1级（≥0.1 µm，10粒/m3）尚无工程应用；ISO 9级（≥0.5 µm，3520万粒/m 3 ）工程中很少应用，GMP-98版中曾使用30万级（≥0.5 µm，1050万粒/m 3 ）。ISO 5级（≥0.5 µm，粒子最大浓度限值3520粒/m 3）相当于美联邦标准FS 209百级（≥0.5 µm，粒子 最大浓度限值3530粒/m3，或100粒/ft3）。
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